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High precision DI Flow System
機台：ACT 12 Coater
應用：利用EV Trigger-in signal 確認verify flow 開始動作，並Interlock Exhaust Alarm，有效偵測DI Flow。
系統架構圖：
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High precision DI Flow System
機台：ACT 12 Coater
應用：利用EV Trigger-in signal 確認verify flow 開始動作，並Interlock Exhaust Alarm，有效偵測DI Flow。
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