壓差偵測系統

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壓差偵測系統

 

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機台：Lam

lam

 

 

 

 

 

 

 

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應用：防止particle FUN 停止轉動造成；particle issue發生而影響wafer。

msd-8

 

 

 

 

 

 

 

系統架構圖：

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