[vc_row][vc_column][vc_column_text]
Hot Plate Temperature Monitoring System
機台 : DNS
前言 :
因機台無法及時監測hot plate溫度，致wafer斜放於chuck上造成受熱不均時無法及時攔阻。
利用MSD擷取temperature I/O board signal 與chuck的pins up/down signal，在運用file pass 的資料傳輸方式，將hot plate 溫度上傳至系統監控，達到即時攔阻的功能。
系統架構圖：
[/vc_column_text][/vc_column][/vc_row]