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ESC (electrostatic chuck)
加裝 TC sensor
機台 : TEL 9600
前言 :
因 ESC之Chiller 溫度無法簡單的Double Confirm(使用人工方式一一檢測，但溫度皆無法一致)，導致機台出問題時，無法清楚釐清問題點。
由於ESC下方已有一TC Sensor For 原機台偵測用，故預計於該Sensor附近再加裝MSD TCSensor做為Double Confirm用。
系統架構圖：
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