Fan Failure Prevention

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Fan Failure Prevention

 

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機台 : Mattson Aspen Strip / Asher

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前言 :機台上大多有數顆風扇，但並不是所有風扇均有監測，如機台運轉中風扇停止了，有可能會影響到產品。

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利用MSD監測風扇電流，如有過高或過低，即利用MSD發報警報或停止機台。

系統架構圖：

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