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MSD MEMS 3 AXIS 振動傳感器
XYZ 3Axis，+/-2000mg，應用於Robot Arm Shift 、Turbo Pump軸偏、機台震動…等，改善各設備異常振動造成的產品良率下降問題。
裝設TurboPump震動監測上系統，用來監測TurboPump運作振動量，以減少製程中產生的各式Wafer因為振動過大產生的不良。
MSD MEMS 3 Axis SPECIFICATION
- Measurement：+/-2000mg
- Axis：X, Y, Z
- Sensitivity：0.01g
- Output Data Rate(Hz) ：50Hz
- Sensor Number：1 CH
- Up/Low Limitation Alarm Setting
- Alarming Buzzer
- Offset Setting
- Zero Setting
- NC/NO Alarm output
- RS-485(Modbus)
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