[vc_row][vc_column][vc_column_text]
Ebara CMP Machine Slurry Flow Monitor
機台：Ebara FREX300
應用：Ebara CMP機台沒有Slurry Flow 監測機制，但藉由外加 Slurry Flow Sensor並上FDC後，可監視Flow變化預防產品報廢或yield suffer。
系統架構圖：
[/vc_column_text][/vc_column][/vc_row]