燈泡電流偵測

/ Electric sensor, iper 2435 (KLA), 技術案例 / 作者:

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燈泡電流偵測

 

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機台：iper 2435 (KLA)

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應用:

主機台有 dark field and bright field 兩座 lamp house當 lamp毀損時，機台無任何 alarm 機制，只能從產品反應量測結果有問題。

 

系統架構圖： 

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