[vc_row][vc_column][vc_column_text]
Pusher up/down Pressure Monitor System
機台：Ebara FREX300SII
應用：
Ebara CMP機台Pusher因長期up/down作動，造成其下方供應air cylinder氣體管路磨破，可能致使up/down異常，晶片被刮傷或撞破。但藉由外加Pressure Sensor監測管路的壓力，便可以早期監測到管路是否破損以預防產品報廢或yield suffer。 如下圖，以T型接頭將提供air cylinder up/down 的air pressure以壓力sensor長期監測。
系統架構圖：
[/vc_column_text][/vc_column][/vc_row]