MSD 位置偵測

[vc_row][vc_column][vc_column_text]

MSD 位置偵測

 

機台：TEL Lithius

 

 

 

 

 

 

應用：

監控load port robot位置wafer 傳送位置偵測，可監控robot位置是否異常，並將每次blade傳送位置上傳FDC。

系統架構圖：

[/vc_column_text][/vc_column][/vc_row]