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PCW Temp. Monitor System
機台：TEL Track PCH
應用:
PCW Temp. Monitor System 監控溫度過高導致設備alarm產與wafer生產過程中發生產品異常，透過溫度上傳至FDC監控溫度變化。
系統架構圖：
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PCW Temp. Monitor System
機台：TEL Track PCH
應用:
PCW Temp. Monitor System 監控溫度過高導致設備alarm產與wafer生產過程中發生產品異常，透過溫度上傳至FDC監控溫度變化。
系統架構圖：[/vc_column_text][/vc_column][/vc_row]